화학기상증착 장비
플라즈마를 활용한 원자층증착장비
컨택 얼라이너 및 UV 노광기
용액 스핀 코팅 장비
진공 글러브 박스
다중타겟 스퍼터링 장비
급속 열처리 장비
강제 순환 건조기
원타겟 스퍼터링 장비